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微机监控光学膜厚方法的实验研究

朱自强胡敏龙建国杨启纲

四川大学

摘要:作者设计和制作了膜厚自动监控系统。利用该系统能准确控制λ/4膜层的极值厚度,其误差<3%。该方法快速、有效、成本低廉,易于推广应用。实验结果表明,研究方法是成功的。
  • DOI:

    10.19650/j.cnki.cjsi.1994.02.008

  • 专辑:

    理工C(机电航空交通水利建筑能源); 电子技术及信息科学

  • 专题:

    自动化技术

  • 分类号:

    TP274

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