文献知网节
  • 记笔记

一种新型纳米光栅传感器的理论研究

马修水费业泰陈晓怀赵静

合肥工业大学仪器仪表学院合肥工业大学仪器仪表学院 合肥230009 安徽大学测量与控制工程系合肥230039

摘要:为了开发结构简单,抗干扰能力强的纳米测量精度光栅传感器,对基于二次莫尔条纹信号的纳米测量精度光栅传感器的测量原理进行了理论分析,通过仿真计算,其测量分辨力可达到5.40×10-10m,测量精度可达到纳米级。此外,对指示光栅和标尺光栅不平行时对二次莫尔条纹信号质量的影响进行了理论分析和仿真计算。
  • DOI:

    10.19650/j.cnki.cjsi.2006.02.012

  • 专辑:

    理工C(机电航空交通水利建筑能源); 电子技术及信息科学

  • 专题:

    自动化技术

  • 分类号:

    TP212

  • 手机阅读
    即刻使用手机阅读
    第一步

    扫描二维码下载

    "移动知网-全球学术快报"客户端

    第二步

    打开“全球学术快报”

    点击首页左上角的扫描图标

    第三步

    扫描二维码

    手机同步阅读本篇文献

  • CAJ下载
  • PDF下载

下载手机APP用APP扫此码同步阅读该篇文章

下载:348 页码:159-164 页数:6 大小:298K

相关文献推荐
  • 相似文献
  • 读者推荐
  • 相关基金文献
  • 关联作者