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基于面板工艺的数字微流控芯片

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【作者】 林柏全秦锋贾振宇席克瑞彭旭辉

【Author】 Lin Baiquan;Qin Feng;Jia Zhenyu;Xi Kerui;Peng Xuhui;Shanghai Tianma Micro-electronics Co., Ltd.;Shanghai AVIC Optoelectronics Co., Ltd.;

【通讯作者】 席克瑞;

【机构】 上海天马微电子有限公司上海中航光电子有限公司

【摘要】 针对传统数字微流控芯片电极数量少和制造成本高的问题,对基于面板工艺的数字微流控芯片进行了设计、制备和验证。引入现有成熟的液晶面板设计与制造技术,在玻璃基板上完成金属、绝缘层、有机膜、ITO等膜层的图形化加工。结合常规半导体旋涂工艺,完成疏水层的制备。实验成功地制备出一种集成有480个电极的单基板数字微流控芯片样品。通过合理的驱动电极排布与驱动信号时序设计,实现了低成本化的微流控芯片的设计与制造。对于所设计的微流控芯片进行了功能验证,实现了液滴的连续移动,最低驱动电压可达到25 V,可驱动液滴的体积范围为8~50μL。还通过系统化的实验对芯片的有效工作条件进行了验证。

【所属期刊栏目】 传感器技术 (2020年03期)
  • 【DOI】10.19650/j.cnki.cjsi.J1905890
  • 【分类号】TN492
  • 【下载频次】29
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