节点文献

浅谈三自由度精密定位工作台设计与制造工艺技术

免费订阅

【作者】 陈天宇

【机构】 安徽理工大学机械工程学院安徽高速传媒有限公司

【摘要】 精密定位工作台是光刻系统的核心,在实践加工过程中,工作台定位精度与设备对准精度、图形加工时的位移精度等密切相关。定位精度高低会影响产品生产质量。文章从设计理论基础入手,对三自由度精密定位工作台设计及工艺技术进行了分析,最后对定位工作台精度进行实验。

【所属期刊栏目】 智能制造 (2017年10期)
  • 【DOI】10.19301/j.cnki.zncs.2017.10.148
  • 【分类号】TG665
  • 【下载频次】55
节点文献中: 

本文链接的文献网络图示:

浏览历史:
下载历史: