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氯硅烷提纯工艺中树脂除杂技术研究进展

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【作者】 周国峰许正清

【机构】 青海黄河水电公司新能源分公司青海省新能源材料与技术重点实验室

【摘要】 氯硅烷作为生产电子级多晶硅的重要原料,即使原料中含有微量的杂质,最终也会影响电子级多晶硅产品纯度,由于杂质和氯硅烷的沸点相近,通过传统工艺很难去除。基于此,文章就氯硅烷提纯工艺中新型树脂除杂技术的应用做了分析与探讨。

【关键词】 氯硅烷树脂提纯
【所属期刊栏目】 智能化工 (2019年23期)
  • 【DOI】10.19301/j.cnki.zncs.2019.23.070
  • 【分类号】TQ264.11
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