文献知网节
  • 记笔记

中科院苏州纳米所5 nm激光光刻研究获进展

摘要:<正>苏州纳米所张子旸团队基于光热反应机理设计开发了一种新型三层堆叠薄膜结构。在无机钛膜光刻胶上,采用双激光束(波长为405nm)交叠技术,通过精确控制能量密度及步长,实现了1/55衍射极限的突破(NA=0.9),达到了最小5 nm的特征线宽。
  • 专辑:

    电子技术及信息科学; 经济与管理; 理工A(数学物理力学天地生); 理工B(化学化工冶金环境矿业)

  • 专题:

    物理学; 材料科学; 无线电电子学

  • 分类号:

    TN24;TB306

  • 手机阅读
    即刻使用手机阅读
    第一步

    扫描二维码下载

    "移动知网-全球学术快报"客户端

    第二步

    打开“全球学术快报”

    点击首页左上角的扫描图标

    第三步

    扫描二维码

    手机同步阅读本篇文献

  • CAJ下载
  • PDF下载

下载手机APP用APP扫此码同步阅读该篇文章

下载:41 页码:86 页数:1 大小:1229K

相关文献推荐
  • 相似文献
  • 读者推荐
  • 相关基金文献
  • 关联作者