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暗场电子全息技术及其在应变分析中的应用

王志峰段晓峰

中国科学院物理研究所北京凝聚态国家实验室

摘要:暗场电子全息是近年来出现的实验技术,是测量半导体器件中应变分布的有力手段。它将莫尔技术与离轴电子全息结合起来,具有空间分辨率高、视场范围大、精确度高、结果直观等优点。本文简要介绍了该技术的原理、实验方法和应用。
  • 专辑:

    电子技术及信息科学; 理工A(数学物理力学天地生)

  • 专题:

    物理学; 无线电电子学

  • 分类号:

    O438.1;TN307

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