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摘要:采用反应磁控溅射方法制备了一系列不同铝含量的Zr-Al-Si-N复合膜,用能谱仪、X射线衍射仪和显微硬度计对复合膜进行表征,研究了铝元素对Zr-Si-N复合膜的微结构和力学性能的影响。结果表明,当铝的原子分数NAl≤10.84%时,Zr-Al-Si-N复合膜中fcc-(ZrAlSi)N为主要相;当NAl≥14.67%时,Zr-Al-Si-N复合膜是fcc-(ZrAlSi)N和h-AlN的混合相;铝原子分数为4.80%时,Zr-Al-Si-N复合膜的显微硬度达到最大值43.92GPa;随着铝原子含量的进一步增加,Zr-Al-Si-N复合膜的显微硬度迅速下降。对复合膜的致硬机理进行了讨论。
  • DOI:

    10.13251/j.issn.0254-6051.2009.11.028

  • 专辑:

    工程科技Ⅰ辑; 工程科技Ⅱ辑

  • 专题:

    工业通用技术及设备; 材料科学

  • 分类号:

    TB383.2

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