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基于C-W复合膜/无定形碳纳米岛的表面传导电子发射阴极

朱丹李德杰赵勇胡强王健

清华大学电子工程系

摘要:介绍了基于C-W复合膜/无定形碳纳米岛的表面传导电子发射阴极,并对其制备工艺和发射性能进行讨论。利用低熔点纳米Bi岛作为掩模刻蚀得到无定形碳的纳米岛结构,在保留大岛形貌的同时,去除了一定量的小岛结构;同时在无定形碳中掺入少量的W原子,制作导电性极佳的C-W复合膜作为上层发射层,利于激活形成电子发射区域。通过对工艺参数的优化,得到了稳定、均匀的电子发射,电子发射率在阴阳极间距2mm、阳极电压为3 kV时达到0.9%,向器件实用化方向迈出了重要的一步。
  • 专辑:

    工程科技Ⅱ辑; 信息科技

  • 专题:

    无线电电子学

  • 分类号:

    TN103

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