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摘要:针对平面传感器对电极在外观、电学性能方面的特殊要求,设计了一种螺旋结构的叉指电极,并重点研究采用激光打标设备刻蚀制作ITO薄膜平面叉指电极时,工作功率、刻蚀速度、刻蚀刀数、填充间距等工艺参数对刻蚀效果的影响,探索出最佳的刻蚀工艺条件。研究结果表明,采用激光打标设备加工薄膜型平面电极,可满足平面气体传感器的实际应用需求。
  • DOI:

    10.16002/j.cnki.10090312.2020.03.006

  • 专辑:

    理工C(机电航空交通水利建筑能源); 理工A(数学物理力学天地生); 电子技术及信息科学

  • 专题:

    物理学; 无线电电子学; 自动化技术

  • 分类号:

    TP212;TN249

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